HFE
ハイドロフルオロエーテル
フッ素系高機能液体
Fluorinated Liquid
洗浄
溶剤
熱溶媒
規制関連
オゾン層保護法
非該当
地球温暖化
対策推進法
非該当
PRTR法
非該当
消防法
非該当
低毒性
非該当
特徴
- 材料適合性に優れる
- 濡れ性・レベリング性に優れる
- 乾燥時間の短縮
- プラスチック・金属材料を侵しにくい
- 電気絶縁性能に優れる
- 熱伝達性に優れる
- 安定性に優れる
適用範囲
- 電子部品のパーティクル精密洗浄
- CCD、CMOSイメージセンサーチップ・カメラモジュール洗浄
- 有機ELディスプレイ・光学部品洗浄
- 半導体部品・ウエハー洗浄・乾燥
- MEMSデバイスの洗浄・乾燥
- 半導体装置の冷却ブライン用途
- フッ素オイル・樹脂、フッ素コーティング剤の溶剤
- コンピュータサーバー・レーダー・トランス機器等の冷却
用途分類一覧
| 用途分類 | 品番 | |||
| HOSCIEN™ ES-7100 |
HOSCIEN™ ES-7200 |
HOSCIEN™ ES-7300 |
HOSCIEN™ ES-71IPA |
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|---|---|---|---|---|
| 1液_パーティクル洗浄洗浄 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 2液洗浄（洗浄剤との組合せ）洗浄 | ○ | ○ | ○ | |
| 水切り乾燥洗浄 | ○ | |||
| すすぎ乾燥洗浄 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 溶媒溶剤 | ○ | ○ | ○ | |
| 分散剤溶剤 | ○ | ○ | ○ | |
| ブライン熱溶媒 | ○ | ○ | ○ | |
※当データーは保証値ではありません。
代表特性値
| 項目単位 | 品番 | |||
| HOSCIEN™ ES-7100 |
HOSCIEN™ ES-7200 |
HOSCIEN™ ES-7300 |
HOSCIEN™ ES-71IPA |
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|---|---|---|---|---|
| KB値 | 10 | 10 | 5 | 10 |
| 沸点℃ | 60 | 76 | 98 | 54 |
| 表面張力mN/m | 13.6 | 13.6 | 14.6 | 13.9 |
| 密度㎏/㎥ | 1500 | 1420 | 1660 | 1440 |
| 粘度cps | 0.58 | 0.57 | 1.2 | 0.68 |
| 蒸発潜熱kJ/㎏ ℃ | 126 | 126 | 102 | - |
| 凝固点℃ | -135 | -138 | -38 | - |
| 比熱kJ/㎏ ℃ | 1180 | 1220 | 1140 | - |
| 蒸気圧kPa | 27 | 16 | 6 | - |
| 絶縁耐圧KV | 28 | 25 | 0.7 | - |
| 体積抵抗Ωｍ | 10 | 10 | 10 | - |
※当データーは保証値ではありません。