HFE
ハイドロフルオロエーテル
環境への影響が少なく、不燃性、低毒性、
化学的安定性に優れたフッ素系溶剤です
フォロー体制
- 01 -日本国内技術フォロー
- 02 -日本国内品質保証体制
- 03 -日本国内実績多数
- 04 -日本在庫即納対応
- 05 -安定供給・安定対応
販売サイズ
- 5kg（プラスチックボトル）
- 15kg（プラスチックボトル）
- 250kg（ドラム缶）
用途事例
冷却ブライン
- 半導体装置
- チラー装置
希釈剤
- フッ素オイル
- フッ素系潤滑剤
希釈剤
- フッ素樹脂
- シリコン樹脂
信頼性試験
- 耐電圧試験
- サーマルショック
溶媒
- 重合溶媒
精密洗浄・乾燥
- 半導体部品用途
- ウエハー
精密洗浄・乾燥
- CMOS
- カメラモジュール等
パーティクル洗浄
- ディスプレイ
- 光学・レンズ部品
代表特性値
| 項目単位 | 品番 | ||||
| ES-560 |
ES-7100 |
ES-7200 |
ES-7300 |
ES-7500 2027年初旬上市予定 |
|
|---|---|---|---|---|---|
| Cas.No | 406-78-0 | 163702-08-7 | 163702-06-5 | 132182-92-4 | 297730-93-9 |
| KB値- | 13 | 10 | 10 | 5 | 5 |
| 沸点℃ | 56 | 61 | 76 | 98 | 128 |
| 凝固点℃ | -94 | -135 | -138 | ※-38 | -100 |
| 密度㎏/㎥ | 1470 | 1520 | 1430 | 1660 | 1614 |
| 粘度cps | 0.65 | 0.63 | 0.61 | 0.71 | - |
| 動粘度cSt | 0.44 | 0.38 | 0.40 | 0.69 | 0.77 |
| 表面張力mN/m | 16.4 | 13.6 | 13.6 | 14.9 | 16.0 |
| 絶縁耐力KV | 40 | 28 | 24 | 27 | 35 |
| 体積抵抗Ωm（500V） | 10⁸ | 10⁹ | 10⁸ | 10⁹ | 10⁸ |
| 比誘電率1kHz | 6.6 | 7.5 | 7.4 | 6.1 | 5.8 |
| 地球温暖化係数GWP | 540 | <100 | 59 | 200（※ES-7300は流動点） | 90 |
| 希釈溶媒 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 熱媒体 | － | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 耐電圧試験媒体 | ー | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 気密性試験媒体 | ー | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 洗浄剤 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ー |
| 備考 | HFE-347 相当品 | HFE-7100 相当品 | HFE-7200 相当品 | HFE-7300 相当品 | HFE-7500 相当品 |